MMIC(モノリシック・マイクロ波集積回路)

高周波シミュレーションに関する翻訳に、MMICという言葉がよく出てくる(例えば、Agilent EEsof EDA W2321 レイアウト・エレメント)。MMICは、Monolithic Microwave Integrated Circuit(モノリシック・マイクロ波集積回路)の略である。

半導体デバイスは、ダイオードやトランジスタなどの個別半導体素子(ディスクリート半導体)と集積回路(IC)の2種類に分類される。集積回路は、ハイブリッド集積回路(ハイブリッドIC)とモノリシック集積回路(モノリシックIC)の2種類に分類される。モノリシックICとは、シリコン(Si)やガリウムヒ素(GaAs)などの単一の半導体基板(ウェハー)上にトランジスタ、ダイオード、抵抗、キャパシタなどの素子を一体に形成して機能を実現したもので、ICと言えば、通常はモノリシックICのことである。ハイブリッドICは、絶縁基板上に個別半導体素子、モノリシックIC、抵抗、コンデンサなどの電子部品を高密度に実装して、1つのICのようにパッケージングしたものである(例えば、ここの構造を参照)。

したがって、MMICとは、マイクロ波帯のミキサ、増幅、スイッチングなどの機能を、単一の半導体基板上に形成したICである(例えば、ここの画像)

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