MEMS

パワー・エレクトロニクス・テストに関する翻訳で、MEMSという言葉が出てくる(例えば、パワー・エレクトロニクス・テストの課題とソリューションのp13)。

MEMS(メムス)は、Micro Electro Mechanical Systems(微小電気機械システム)の略で、日本ではマイクロマシンと呼ばれることが多い。

MESMは、CMOS半導体製造プロセスの微細加工技術(リソグラフィーやエッチング)やレーザー加工技術を用いて、微小な電子回路や可動部を持つ機械構造を基板上に集積化した微細なデバイスである。

身近なMESMデバイスとしては、インクジェットプリンタのプリンタヘッド(数ピコ・リットルのインクを制御)、ハードディスクの磁気ヘッド(データを記録、再生するためのデバイス)、ビデオカメラの手ブレ補正や携帯電話/ハードディスクの落下検知用の加速度センサ、DLPプロジェクターに使用されているDMD(デジタル・ミラー・デバイス)などがある。その他にも、DNAチップ、波長可変レーザー、原子間力顕微鏡のカンチレバーなど、さまざまなデバイスが実用化されている。

このように、さまざまな最終製品の基幹デバイスとして使用されているので、半導体チップが「産業のコメ」と言われたの対して、MESMは「産業のマメ」と呼ばれている。

MESMについては、以下を参照

一般財団法人マイクロマシンセンターのホームページ > 情報サービス活動 > 情報コーナー(MMC カフェ) > マイクロナノ・トーク > 産業のマメ:MEMS

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