reticle(レチクル)

reticle(レチクル)

EDA(Electronic Design Automation)に関する翻訳で、reticle(レチクル)という言葉がよく出てくる(例えば、Agilent EEsof EDA Premier Communications Design Softwareのp5の図5)。

reticleを辞書で調べると「レンズ内の十字線、目盛線」という訳が出てくるが、EDA(特に、半導体製造)では、ガラス基板上に金属薄膜で大規模集積回路(LSI)のマスクパターンが描かれたフォトマスクのことである。このフォトマスクにレーザ光を照射することにより、シリコン・ウェーハ上に大規模集積回路(LSI)が縮小投影される(露光、焼き付けられる)。露光後、感光した部分をエッチング処理し不純物を打ち込むことにより半導体素子が形成される。

半導体製造については、以下を参照。

CANONホームページ > 技術のご紹介 > サイエンスラボ > 光って何?第3章 光を利用する > 半導体露光装置

コメントは受け付けていません。