走査型プローブ顕微鏡に関する翻訳で、scanning microwave microscopy（走査型マイクロ波顕微鏡法）という言葉がよく出てくる（例えば、走査型マイクロ波顕微鏡法（SMM）モード）。

走査型マイクロ波顕微鏡は、走査型プローブ顕微鏡の原理とベクトル・ネットワーク・アナライザを組み合わせたものである。プローブで試料表面を走査（スキャン）しながら、振幅／位相が既知のマイクロ波の入射信号を微小な探針（プローブ）に伝送し、プローブと試料の表面の間の終端（微小な間隙）で生じる反射波の振幅／位相を測定することにより、試料表面の局所的な反射係数（終端インピーダンス）の変化を、走査型プローブ顕微鏡の原子レベルの分解能でイメージング（可視化）することができる。反射係数はキャパシタンスに変換することも可能で、走査型静電容量顕微鏡のように半導体表面を走査して、キャリア分布を可視化できる。

走査型マイクロ波顕微鏡については、以下を参照

九州大学中央分析センター > 刊行物 > センターニュース > Vol.29, No.3(2010）の4.1 SMMシステム概要

Attofarad Capacitance Measurement with Scanning Microwave Microscopy（英語pdf）